Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия. Часть 1 [Текст] / Н. И. Филимонова, Б. Б. Кольцов. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2013. - 134 с. - ISBN 9785778221581 : Б. ц.